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產(chǎn)品簡介

EB-6V是針對(duì)mmW研究用，產(chǎn)品已通過市場驗(yàn)證的解決方案。 以下功能可用於此系統(tǒng)：

功能特點(diǎn)

-將探針座與探頭直接對(duì)接，去除擴(kuò)頻器和探頭之間的波導(dǎo)

-適用於不同尺寸的擴(kuò)頻器和負(fù)載牽引器的低重心探針座

-配備千分表可確定探針在pad上的接觸劃痕

-集成準(zhǔn)，可直接連接探頭

-南北橋，用於額外的DC和RF微調(diào)探針座

-卡盤同軸滑臺(tái)驅(qū)動(dòng)

??? XY同軸載物臺(tái)低重心僅25mm厚

??? 用戶友好的一只手抓住兩個(gè)XY旋鈕

??? 快速移動(dòng)25mm /轉(zhuǎn) 方便快速找到目標(biāo)物

??? 精細(xì)定位10微米Die目標(biāo)物

-無間隙運(yùn)動(dòng)

-探針座備用區(qū)

應(yīng)用

-高性能射頻

-毫米波

-差分毫米波

-基礎(chǔ)IV/CV

配件

帶溫度控制器的熱卡盤

防震桌

屏蔽箱

規(guī)格參數(shù)

探針臺(tái)面積

760 mm 寬 ? ?x 660mm 深

探針臺(tái)高度

220 mm (到平臺(tái))/700 mm (到顯微鏡)

探針臺(tái)重量

80kg

平臺(tái)材料

硬鉻電鍍鋼

平臺(tái)尺寸

120 mm x ? ?180 mm（南和北）

平臺(tái)容量

4 RF 和2 ? ?DC 或者 2 RF 和 4 DC

南北橋平臺(tái)探針座安裝

磁性O(shè)N/OFF開關(guān)

南北橋平臺(tái)額外探針座的數(shù)量

每一平臺(tái)可容納四個(gè)探針座

卡盤材料

不銹鋼

卡盤臺(tái)類型

同軸

卡盤行程範(fàn)圍

6” x 6”

卡盤精度

1 µm

卡盤Theta粗調(diào)行程

360˚

卡盤Theta精度

0.01˚

卡盤Z向移動(dòng)範(fàn)圍

4 mm

卡盤Z向精度

1µm

同軸卡盤運(yùn)動(dòng)

斜面齒輪和齒條0.8mm間距

卡盤大小

6” (150 mm)

卡盤平面度

3 µm

卡盤剛度

15 µm / 10 N @ 邊沿

卡盤真空槽

中心，1.5”, 3.5”,7”（單獨(dú)控制）

卡盤偏置容量

可達(dá)到 2 kV

卡盤隔離

5 GΩ

DUT 尺寸範(fàn)圍

2 mm - 150 mm

顯微鏡滑臺(tái)類型

高精度線性探針臺(tái)

顯微鏡滑臺(tái)精度

1 µm

顯微鏡滑臺(tái)行程範(fàn)圍

2” x 2”

顯微鏡快速提升（可選）

50 毫米（氣動(dòng)）

顯微鏡變焦範(fàn)圍

1,4x - 9x

顯微鏡目鏡

30x

顯微鏡三目端口

C型接口

顯微鏡放大範(fàn)圍

42x-270x

EB-KRF

線性精度：0.5 μm

角度精度：0.0005?

行程範(fàn)圍：線性50 mm X-Y，25 mm ?Z，角度±5?

尺寸：

290 mm W x 140 mm D x 130 mm H

重量：6000g

擴(kuò)頻器廠牌：VDI，OML，Keysight，R＆S和其他類似尺寸的擴(kuò)頻器

剛度：150 Kgf

螺絲類型：3/8”不銹鋼螺桿

下針深度指示器：0.5 μm

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探針座都提供X-Y-Z直線運(yùn)動(dòng)行程，無齒隙，安裝選項(xiàng)包括磁鐵、真空或磁鐵開關(guān)底座

EB-050

精度：0.8μm

螺絲精度：212μm

行程範(fàn)圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：52 ?mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g

用途：支持DC/RF

EB-005

精度：0.3μm

螺絲精度：125μm

行程範(fàn)圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：90 ?mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g

用途：支持DC/RF

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VFT-4836

尺寸：48” W x 36” D x 36” H

垂直固有頻率：1.5 Hz

隔離效率：@ 5 Hz 85％

水平固有頻率：1.2 Hz

隔離效率：@ 5 Hz 91％

空氣需求量：80 psi

凈負(fù)載：200kg

材質(zhì)：鋼桌面