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液氮系統(tǒng)可將樣品冷卻至-190°C取決於泵功率和熱塊尺寸 ? ? ? ? ? ? ? ?

系統(tǒng)包括一臺泵、一個杜瓦瓶、一個帶塞子的蓋子（用於在操作期間重新填充）和連接管 ? ? ? ? ? ? ? ?

提供三種液氮泵輸出選項，LN2-P2、LN2-P4和LN2-P8，它們通過設備吸入液氮，並由mK2000控制 ? ? ? ? ? ? ? ?

三種杜瓦瓶尺寸，2L、10L和30L，帶有易於再填充的蓋子選項，以控制儀器的液氮供應 ? ? ? ? ? ? ? ?

與mK2000 ? ?PID控制器集成±0.1%分辨率 ? ? ? ? ? ? ? ?

*可做定制或改動，詳詢上海恒商 ? ? ? ? ? ? ? ?

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LN2-P2

LN2-P4

LN2-P8

冷熱臺

HCS302 / ? ?302G / 402

-100℃

-190℃

-190℃

HCS321Gi

-60℃

-80℃

-190℃

HCS621G / ? ?421V

-160℃

-190℃

-190℃

HCS622G / ? ?422V

-100℃

-190℃

-190℃

FS1

NA

-60℃

-190℃

CLM77K / ? ?CLM77Ki

NA

-190℃

-190℃

晶圓夾盤&冷熱平板

10mm 正方形或圓形

-40℃

-60℃

-120℃

150mm正方形或圓形

-20℃

-40℃

-100℃

200mm正方形或圓形

NA

-30℃

-80℃

300mm正方形或圓形

NA

-20℃

-60℃

HCC602正方形或圓形

-120℃

-170℃

-190℃

*可做定制或改動，詳詢上海恒商