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可程式設(shè)計(jì)精密控溫?？瑟?dú)立控制，也可從上位機(jī)軟體控制

低的盤(pán)面溫度梯度

獨(dú)立的上盤(pán)面真空吸氣槽，用於吸附固定多種尺寸晶圓

尺寸超薄，可集成進(jìn)探針臺(tái)

適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓

軟體可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語(yǔ)言的SDK

#升級(jí)項(xiàng)# 性能可升，詳見(jiàn) 配置清單

#選擇項(xiàng)# 檯面為電接地 / 電懸空

#可選項(xiàng)# 檯面開(kāi)設(shè)用於起模頂桿的孔洞，可快速卸下樣品

#可選項(xiàng)# 下盤(pán)面的真空吸氣槽，用於將卡盤(pán)固定在實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上

可做改動(dòng)或定制，詳詢(xún)上海恒商

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通

用

參

數(shù)

溫度解析度

0.001℃

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃(at 100℃) 可增加穩(wěn)定性

溫度均勻度

±0.1℃/cm 可升級(jí)均勻性

控溫速度

±0.1℃/小時(shí)

溫度感測(cè)器

100Ω鉑質(zhì)RTD

溫控方式

開(kāi)關(guān)式PID 可升級(jí)為LVDC式PID

*其他技術(shù)參數(shù)請(qǐng)參考 常用型號(hào)選型表

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型號(hào)

盤(pán)面尺寸

適用樣品尺寸

溫度範(fàn)圍

制熱速度

HCC214S

100 mm

12 mm ～ 101 mm

-120℃ ～ 200℃

+60℃/分鐘(at 100℃)

HCC314S

-120℃ ～ 310℃

HCC216S

150 mm

12 mm ～ 152 mm

-100℃ ～ 200℃

+50℃ /分鐘(at 100℃)

HCC316S

-100℃ ～ 310℃

HCC218S

200 mm

40 mm ～ 203 mm

-80℃ ～ 200℃

+35℃/分鐘(at 100℃)

HCC318S

-80℃ ～ 310℃

*注：液氮泵型號(hào)不同，製冷表現(xiàn)也會(huì)有差異，請(qǐng)悉知。

???? 夾盤(pán)上下表面的獨(dú)立真空吸氣槽(可選); 支援Swagelok介面(可選); 支持頂桿孔(可選); 製冷需液氮